一、设备核心用途
专为氢气 + 氮气按固定比例连续、稳定混气,输出氢氮混合气,用于:
- 半导体 / 光伏 / LED 还原保护气氛
- 金属光亮退火、钎焊
- 浮法玻璃锡槽保护气
- 粉末冶金、磁性材料烧结
- 实验室 / 生产线精密配气
二、典型技术指标
- 配比范围:
H₂ 0–10%(常用 2%/5%/10%),余量 N₂
合成氨工况可做到 H₂:N₂ = 3:1 - 配比精度:±0.1% FS ~ ±1% FS(高精度型)
- 流量范围:1–1000 Nm³/h 可定制
- 控制方式:PLC + 质量流量控制器(MFC)
- 输出压力:0.1–0.8 MPa 可调
- 报警功能:超温、超压、欠压、氢浓度超限、紧急停机
三、系统结构(标准配比柜)
- 进气单元
氮气入口、氢气入口、过滤器、减压阀 - 计量混气单元
高精度 MFC 分别控制 H₂、N₂ 流量 - 混气单元
静态混合器,保证均匀无分层 - 分析监测单元
在线氢分析仪 / 氧分析仪,实时显示浓度 - 调节与稳压单元
背压阀、稳压阀,保证出口压力稳定 - 安全单元
氢气泄漏检测、紧急切断阀、防爆、放空
四、为什么用配比柜而不是简单混气
- 传统汇流排混气:精度差、波动大、不安全
- 配比柜:
- 连续稳定,不受气源压力波动影响
- 可远程 / 自动调节配比
- 带联锁保护,适合易燃易爆氢系统
- 满足高纯工艺对气氛一致性要求
五、适用场景关键词
- 氮氢保护气氛炉
- 退火炉、钎焊炉
- 光伏电池 / 硅片工艺
- 电子元器件封装
- 化工催化、氨合成前配气
如果你是要选型 / 报价 / 技术参数表,我可以按你需要的:
- 氢气浓度、总流量
- 压力、纯度要求
- 防爆 / 非防爆、是否需要在线分析